長焦顯微鏡以裂像聚焦指示器為測量原理, 采用高精度光學(xué)聚焦點檢測方式進行非接觸高低差測量.不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進行測量.本儀器的各種鏡筒還具有明暗場,微分干涉,偏光的觀察功能.所以對極細微的間隙高低差,夾雜物、微米以下的突起、細微劃痕進行觀察.
長焦顯微鏡是用來測量微小距離或微小距離變化的.新泰科儀器INTEKE.CN其構(gòu)造分為機械部分和光具部分是一個長焦顯微鏡,裝在一個由絲桿帶動的滑動如上,這個滑動臺連同顯微鏡可以按不同方向安裝.可以對準前方、上下、左右移動;或?qū)氏路?左右移動.滑動臺安裝在一個大底座上.(圖1-13)長焦顯微鏡的量程一般為幾個厘米,分度值為0.001厘米.常見的一種長焦顯微鏡的機械部分是根據(jù)螺旋測微器原理制造的,一個與螺距為1毫米的絲桿聯(lián)動的刻度圓盤上有關(guān)100個等分格.因此,它的分度值是0.001厘米.還有一種類型是用帶0.01毫米標尺的測量目鏡來測量微小位移.
長焦顯微鏡的操作步驟:
1.將長焦顯微鏡適當安裝,對準待測物;
2.調(diào)節(jié)顯微鏡的目鏡,以清楚地看到叉絲(或標尺);
3.調(diào)節(jié)顯微鏡的聚集情況或移動整個儀器,使待測物成像清楚,并消除視差,即眼睛上下移動時,看到叉絲與待測物成像清楚,并清除視差,即眼睛上下移動時,看到叉絲與待測物成的像之間無相對移動;
4.先讓叉絲對準待測物上一點(或一條線)A,記下讀數(shù);轉(zhuǎn)動絲桿,對準另一點B,再記下讀數(shù),兩次讀數(shù)之差即AB 之間的距離.注意兩次讀數(shù)時絲桿必須只向一個方向移動,以避免螺距差.
1.長焦顯微鏡的精度在出廠時已調(diào)整好,不允許自行拆裝,由此而影響該顯微鏡的讀數(shù)精度由客戶負責.
2.長焦顯微鏡存放和使用時,應(yīng)避免灰塵,潮濕和有腐蝕性氣體的環(huán)境中.
3.把長焦顯微鏡置于元件上當顯微鏡與工件置于一起時手不要抖動因為顯微鏡與工件的結(jié)合不是很緊固稍不注意會造成讀數(shù)誤差把透光孔對向光亮處;
4.通過旋轉(zhuǎn)螺母使標線沿X軸左右移動;
5.標線與壓痕的兩側(cè)分別相切此時標線走過的距離即為壓痕直徑;
長焦顯微鏡是用來測量微小距離或微小距離變化的其構(gòu)造分為機械部分和光具部分是一個長焦顯微鏡裝在一個由絲桿帶動的滑動如上這個滑動臺連同顯微鏡可以按不同方向安裝可以對準前方上下左右移動或?qū)氏路阶笥乙苿踊瑒优_安裝在一個大底座上;
用途:適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢查觀察.也適用于經(jīng)過磨拋、化學(xué)處理的工件表面的金相組織結(jié)構(gòu),幾何形狀進行顯微觀測.并且有三維的測量功能,其解析率達0.0005mm.因此是精密零件,集成電路,半導(dǎo)體芯片,光伏電池,光學(xué)材料等行業(yè)的*儀器.
